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离子注入气体
产品简介
至昕离子注入气体采用创新性烧结吸附和气体灌装技术，极大地提高了气体吸附密度，提高了客户的生产效率。
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产品特性
高纯度
高吸附密度
产品应用
半导体集成电路制造
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